Produktnamn: Zirconium Sputtering Target

Materialklass: Zr702 (ASTM B493 klass R60702)

Renhetsgrad: 99,95 % (3N5) metall-baserad (Hf-fri)

Kärntillämpningar: Avancerad halvledarförpackning, optisk beläggning, solcellsbakelektrod, mikroelektroniskt sammankopplingsskikt (PVD-process)

Tillverkningsstandarder: Uppfyller ASTM B493/B493M-14 (specifikation för zirkonium- och zirkoniumlegeringssmidda) och SEMI M13-1102 (allmän specifikation för sputteringsmål)

Den teoretiska densiteten för zirkoniumförstoftningsmålet är 6,51 g/cm³, dess densitet är större än eller lika med 99,0 %, dess värmeledningsförmåga är 22,6 W/m·K och dess värmeutvidgningskoefficient (20–300 grader ) är 5,7 × 10 K. Dessa parametrar är uppmätta värden för Zr702-mål med hög -renhet i standardglödgat tillstånd, lämpliga för hög-effekt DC/RF-magnetronförstoftningstillämpningar och uppvisar termisk stabilitet överlägsen material med 99,9 % renhet.

Produktytkvalitet och mikrostrukturkrav:

Kornstorlek: Mindre än eller lika med 50 μm (genomsnitt), mätt med EBSD (Electron Backscatter Diffraction), med en standardavvikelse för kornstorleksfördelningen Mindre än eller lika med 15 μm.

Ytgrovhet (Ra): Mindre än eller lika med 0,8 μm, mätt med en optisk 3D-profilometer (ISO 4287), fri från repor, fördjupningar och gropar.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² avvisas.

Mikrostruktur: Enhetlig likaxlig -fasstruktur. SEM (500× förstoring), fri från porer, inneslutningar och segregation.

Alla mål förtätas genom het isostatisk pressning (HIP) för att säkerställa korngränsbindningshållfasthet Större än eller lika med 180 MPa, vilket uppfyller kravet på inget delamineringsfel efter mer än eller lika med 500 timmars kontinuerlig sputtering.

Förpacknings- och fraktspecifikationer för zirkoniumförstoftningsmål (GHS och IEC-kompatibla):

Innerförpackning: Vakuumförseglad (mindre än eller lika med 1×10⁻³ mbar) + fylld med hög-argon (99,999 %), i enlighet med ASTM F2095.

Ytterförpackning: Dubbel-fuktsäker-påse av aluminiumfolie + EPE-dämpningsskum + trälåda (kompatibel med ISPM-15), IEC 60068-2-78.

Fuktskyddsetikett: Fuktsäker-+ fuktighetsindikatorkort (mindre än eller lika med 5 % relativ luftfuktighet), överensstämmer med IEC 60068-2-30.

MSDS/SDS: Överensstämmer med GHS 7:e revisionen, som innehåller 16 standardsektioner, inklusive Zr-dammexplosionsrisker (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Fraktetikett: UN 1399 (icke-brännbar fast metall) + frätande ämnen.

Varje låda innehåller ett torkmedelspaket (kiselgel) och en fuktighetsmätare. Temperaturkontroll under hela transporten: 5–30 grader, relativ luftfuktighet Mindre än eller lika med 40 %.

FAQ

F: Kan du tillhandahålla typiska kundfallsstudier av Zirconium Sputtering Target?

S: Världens tio främsta halvledartillverkare, inklusive TSMC, Samsung Electronics, Intel och SK Hynix, är alla indirekta slutanvändare- av zirkoniummål. Deras avancerade processer (som noder under 5nm) använder i stor utsträckning Zr702-mål för metallbarriärlager, gränssnittspassiveringsskikt och sammankopplingsstrukturer, deponerade med PVD-utrustning som Applied Materials Endura® och Lam Research Kiyo®. Zirkoniummål är alltså inbäddade som nyckelfunktionella material i deras massproduktionsprocesser.

Ledande internationella skärm- och solcellsföretag, som LG Display, Samsung Display och First Solar, använder hög-zirkoniummål i OLED-panelelektrodbeläggning och CIGS-tillverkning av bakelektroder för solceller för att uppnå låg-motstånd, hög-stabil metalltunnfilmsavsättning, som uppfyller kraven från stor{}enhet{4}produktion.

Flyg- och försvarstillverkande-tillverkningsföretag, inklusive Lockheed Martin, Boeing och Northrop Grumman, använder zirkoniummål för PVD-avsättning av hög-temperatur-, korrosionsbeständiga-beläggningar, applicerade på motorkomponenter, termiska skyddssystem och radarsmygkonstruktioner. Deras upphandlingsstandarder är stränga, vilket kräver överensstämmelse med AS9100D-certifiering och spårbarhet för batch-COA.

F: Accepterar du bankkrediter?

S: Ja, vi accepterar remburs (L/C) som betalningsmetod för köp. Vänligen håll kontakten.

F: Är zirkoniumförstoftningsmål generellt certifierade enligt ISO 9001, IATF 16949 och AS9100?

S: Ja, inom området för zirkoniumförstoftningsmål för industriella och avancerade applikationer har ISO 9001, IATF 16949 och AS9100D-certifieringar blivit universella och obligatoriska inträdesstandarder.

Populära Taggar: zirkonium sputtering mål, Kina zirkonium sputtering mål tillverkare, leverantörer, fabrik

Zirkoniumförstoftningsmål

FAQ